Assi piezo XYZ per un’eccezionale precisione di posizionamento in 3D
Corse fino a 120 μm x 120 μm x 12 μm
Apertura quadrata di 40 x 40 mm
Il design a cinematiche parallele dal brevetto depositato offre prestazioni geometriche senza rivali
Risoluzione e linearità di posizionamento superiori grazie a un sensore capacitivo a metrologia diretta
Gli assi piezo XYZ della serie QNP3 di Aerotech combinano una risoluzione subnanometrica, elevata dinamica ed eccellenti prestazioni geometriche in un insieme compatto a tre gradi di libertà. Dotati di un’apertura di 40 x 40 mm sono disponibili con corse ad anello chiuso fino a 100 µm x 100 µm x 10 µm (corse ad anello aperto fino a 120 µm x 120 µm x 12 µm). Il design è ideale per la microscopia con sonde ottiche e a scansione o per altre applicazioni di ispezione o produzione che richiedano accessibilità da entrambi i e manipolazione a tre gradi di libertà.
Design a cinematiche parallele di precisione
Le scelte metrologiche e costruttive riguardanti il sistema di guide flexures ottimizzato con il FEM assicurano agli assi piezo della serie QNP3 precisioni multiasse di livello superiore, elevata rigidezza, e lunga durata. Gli elevati valori di rigidezza e frequenza di risonanza consentono altissima produttività e tempi di risposta in anello chiuso rapidissimi.
Il design dell´azionamento, dal brevetto depositato, minimizza gli errori di imbardata X e Y, pur mantenendo allo stesso tempo un sistema metrologico “Abbe-compliant”. Questo design si traduce in prestazioni di posizionamento senza rivali sull´intera corsa XY. Gli attuatori sull´asse Z e i sensori capacitivi sono studiati per offrire un “Abbe-compliant” feedback in direzione verticale con errori geometrici minimi.
Prestazioni subnanometriche
Gli assi QNP3 sono disponibili con feedback ad anello chiuso o aperto. Il design unico a metrologia parallela con sensore capacitivo misura direttamene la posizione del carrello di posizionamento, offrendo una risoluzione subnanometrica, errori di linearità minori dello 0,01% e una ripetibilità nanometrica a cifra singola.
Controllo di ultraprecisione
In abbinamento ai controllori ed agli azionamenti serie Q di Aerotech, gli assi QNP3 raggiungono risoluzioni di posizionamento e stabilità di mantenimento della posizione (jitter) subnanometriche, offrendo al tempo stesso un´elevata ampiezza di banda del posizionamento. Opzioni software avanzate, come il Dynamic Controls Toolbox, ed il Motion Designer, offrono una varietà di tools molto efficaci e facili da utilizzare comprendenti Iterative Learning Control, Harmonic Cancellation, e Command Shaping, che consentono di minimizzare tracking errors e tempi di step and settle. Sono disponibili anche opzioni di azionamento OEM.
Opzioni di Prodotto
Una piastra di montaggio opzionale permette il montaggio diretto su tavole breadboard ottiche con misure sia metriche che imperiali. E’ disponibile anche una tavola senza apertura. A richiesta, gli assi piezo QNP3 sono disponibili in materiali custom ed anche in versioni per vuoto.
Per ulteriori informazioni, contattare Steve McLane al 412-967-6854 (diretto) o via e-mail a This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.'+addy_texta2d9c82879188179bba062d1c58d5db6+'<\/a>';
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